本次給大家介紹一款電動(dòng)壓電螺釘調(diào)平臺(tái)——ZT50N81K8，它是專(zhuān)為三軸調(diào)平而設(shè)計(jì)，具有三個(gè)直線促動(dòng)點(diǎn)，通過(guò)二維θx、θy 偏轉(zhuǎn)和 Z 向升降運(yùn)動(dòng)可對(duì)載物臺(tái)進(jìn)行調(diào)節(jié)，其主要的特點(diǎn)就是定位精度高，承載能力強(qiáng)，電動(dòng)操作更便捷，因其高精度、可控性強(qiáng)、實(shí)用性高，因而廣泛應(yīng)用于科研、激光應(yīng)用、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。
ZT50N81K8壓電螺釘調(diào)平臺(tái)臺(tái)面直徑160mm，直線行程可達(dá)3mm，θx、θy 偏轉(zhuǎn)角度為±1.5°，角分辨率可達(dá)0.3μrad，承載可達(dá)2kg，具有出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，且能在斷電情況下繼續(xù)保持在設(shè)定位置，斷電自鎖。實(shí)物外觀如下圖所示。
產(chǎn)品特點(diǎn)
• 三維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
產(chǎn)品應(yīng)用
• 實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)結(jié)構(gòu)搭建
技術(shù)參數(shù)
半導(dǎo)體領(lǐng)域調(diào)平 ZT50N81K8以其高精度、大行程及多維運(yùn)動(dòng)，使其非常適用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的調(diào)平，例如晶圓調(diào)平等。
配套控制器 芯明天E53.C4K壓電控制器可用于驅(qū)動(dòng)ZT50N81K8，采用24VDC供電，4通道版本可使用切換方式驅(qū)動(dòng)4支壓電螺釘，采用數(shù)字信號(hào)控制，與壓電螺釘間可通過(guò)網(wǎng)口連接，且體積小、易集成。
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