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   P13系列壓電納米定位臺為二維XY、三維XYZ壓電平臺，臺體采用平行運動學機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，zui大位移為 40μm/軸。開環(huán)閉環(huán)版本可供選擇。產品主要應用于光學顯微、生物科技等領域。

典型應用

• 2D/3D掃描系統    • 光路調整
• 半導體技術    • 微操作
• 原子力顯微鏡    • 納米定位

P13系列壓電納米定位臺特點：

• 2~3維運動

• 位移行程40μm

• 體積小巧

• 亞毫秒響應時間

二、三維平移臺

P13壓電納米定位臺，包括二維XY軸、三維XYZ 軸兩個規(guī)格型號。 

超小體積、無機械間隙、高分辨率 

固態(tài)鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動無機械間隙，該結構原理使其具有非常高的分辨率，運動直線性好。P13系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳 感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺適用于動態(tài)使用，是掃描應用的 理想選擇。 

閉環(huán)階躍穩(wěn)定時間圖

P13.XY閉環(huán)版本40μm行程的穩(wěn)定時間約為30ms。

技術參數

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。