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  運(yùn)動(dòng)方式  

   頻率負(fù)載曲線  

  閉環(huán)曲線  

閉環(huán)傳感輸出監(jiān)測(cè)電壓與偏轉(zhuǎn)鏡輸出偏轉(zhuǎn)角度成線性關(guān)系。

  小體積、高動(dòng)態(tài)、開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選  

  維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad 結(jié)構(gòu)原理  

壓電驅(qū)動(dòng)俯仰/偏轉(zhuǎn)臺(tái)（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉(zhuǎn)，相移器）提供比音圈電機(jī)類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉(zhuǎn)范圍 4mrad，偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)0.1μrad，開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選，閉環(huán)傳感器包括應(yīng)變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。

超小體積設(shè)計(jì)，具有非?？斓捻憫?yīng)速度，可帶載Ø15mm的鏡片實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時(shí)間。

平臺(tái)由一個(gè)鉸鏈支撐，并且由一個(gè)線性壓電促動(dòng)器推動(dòng)。鉸鏈確定了軸心點(diǎn)，兼起到給壓電促動(dòng)器施加預(yù)緊力的作用。單個(gè)鉸鏈單個(gè)促動(dòng)器設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小巧、性價(jià)比高等。

如果角度偏轉(zhuǎn)時(shí)工作環(huán)境溫度變化范圍較大，推薦使用差分驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

  應(yīng)用  

  產(chǎn)品測(cè)試  

       • 圖像處理/穩(wěn)定  • 光束掃描   • 隔行掃描、抖動(dòng)  • 光束偏擺/穩(wěn)定  • 光學(xué)、激光掃描、通信  • 光過(guò)濾/轉(zhuǎn)換  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡