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運(yùn)動自由度

X

X

行程范圍

13mm+28µm

13mm+28µm

粗調(diào)+精調(diào)

平直度

<3

<3

µm/13mm

重量

500

500

g±5%

殼體材料

鋼

鋼

外形尺寸（長×寬×高）

114×80×23

114×80×23

mm×mm×mm

手動調(diào)節(jié)部分-千分尺

粗調(diào)行程范圍

13

13

mm

粗調(diào)分辨率（千分尺）

10

10

µm

導(dǎo)軌

交叉滾柱導(dǎo)軌

交叉滾柱導(dǎo)軌

驅(qū)動方式

螺紋副（分厘卡）

螺紋副（分厘卡）

千分尺靈敏度

<2

<2

µm

臺面尺寸

65×65

65×65

mm×mm

千分尺讀數(shù)

10

10

（微米/格）

千分尺螺距

0.5

0.5

mm/rev.

壓電驅(qū)動精調(diào)部分-壓電驅(qū)動

精調(diào)行程范圍

0~120 V, Nominal

20

20

µm±20%

-20~150 V, Max

28

28

µm±20%

傳感器類型

SGS

-

步進(jìn)/分辨率

1.5

0.5

nm, typ.

閉環(huán)線性度(壓電驅(qū)動)

0.2

-

%F.S.

重復(fù)定位精度

0.1

-

%F.S.

運(yùn)動方向推力

20

20

N

剛度

2

2

N/µm±20%

承載能力（Z向）*

1000

1000

g

工作溫度范圍**

-20~80

-20~80

°C

靜電容量

1.8

1.8

µF±20%

重量（含載物平臺）

400

400

g±5%

出線長

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器

LEMO

LEMO