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S54壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

特性：

•  θx, θy偏擺運動 • 開環(huán)/閉環(huán)可選擇 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄

典型應(yīng)用

• 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲

• 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統(tǒng)

• 微操作 • 掩模與晶片位置調(diào)整

應(yīng)用實例
   S54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用 于軍事激光等領(lǐng)域。

閉環(huán)傳感精度高

S54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)采用有限 元分析優(yōu)化，使角度偏移達到小，無空回、無摩擦。

采用壓電陶瓷驅(qū)動實現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)范圍±1.1mrad，分 辨率高達0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實現(xiàn)0.1%F.S. 的重復(fù)定位精度。

臺體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為 80×80mm，P54壓電偏轉(zhuǎn)臺是亞微弧度精密光束調(diào)整、 計量、定位等應(yīng)用的選擇。

負載大鏡片
S54壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透 射光的應(yīng)用，負載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。

S54壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。