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壓電納米定位臺應(yīng)用于錫膏測厚儀

更新時間: 2019-07-15

隨著科技發(fā)展,PCB板中裝配的元件越來越小,元件裝配密度越來越大,焊點變得越來越小。據(jù)統(tǒng)計,60%-70%的焊接缺陷都是由于不良錫膏印刷結(jié)果造成的,錫膏厚度是預(yù)測成品板子質(zhì)量的重要指標。錫膏測厚儀可以有效地在印刷制程中發(fā)現(xiàn)潛在的不良,提供有效的統(tǒng)計制程控制數(shù)據(jù),使終的不良率大大降低。

錫膏測厚儀是一種利用激光非接觸三維掃描密集取樣技術(shù),將印刷在PCB板上的錫膏(紅膠)厚度、面積、體積等分布測量出來的設(shè)備。由于錫膏層的厚度非常薄,而測量精度要求為微納米量級,一般的測量方法不能滿足要求,這就需要用到高精度微位移的測量成像方法。為了收集和高度有關(guān)的信息,在拍攝的圖像上采用壓電納米定位臺帶動光柵移動4次,移動一次拍攝一組圖像,終合成一組圖像,描繪出錫膏的厚度分布圖,可以監(jiān)控錫膏印刷質(zhì)量,減少不良。

芯明天P66系列一維壓電納米定位臺

P66.X以壓電陶瓷為驅(qū)動源并采用直驅(qū)式驅(qū)動機構(gòu)的一維壓電納米定位臺,是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng),可達毫秒級響應(yīng)、納米級定位精度,并可選配高精度傳感器進行閉環(huán)精密定位控制。已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微成像、檢測等領(lǐng)域。

 

產(chǎn)品特點

· 位移可達30μm

· 分辨率可達0.7nm

· 重復(fù)定位精度可達12nm

· 承載能力8kg

· 亞毫秒響應(yīng)時間

 

技術(shù)參數(shù)

型號

尾綴S-閉環(huán)

尾綴K-開環(huán)

P66.X30S

P66.X30K

單位

運動自由度

X

 

標稱行程范圍

(0~120V)

24/軸

μm±20%

大行程范圍

(0~150V)

30/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

 

閉/開環(huán)分辨率

1.5/0.7

nm

閉環(huán)線性度

0.1/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<15

µrad

推/拉力

120/15

N

運動方向剛度

4.4

N/μm±20%

空載諧振頻率

2.6

kHz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

5/0.8

ms±20%

閉環(huán)空載

工作頻率

10%行程

500

Hz±20%

行程

50

大承載

8

kg

靜電容量

3.6

μF±20%

材質(zhì)

 

重量

260

g±5%

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17051647888

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