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新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺

更新時間: 2024-08-06
P66系列壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅(qū)動源,內(nèi)部采用直驅(qū)或放大機(jī)構(gòu)設(shè)計的1~3維運(yùn)動的壓電位移平臺,可達(dá)毫秒級響應(yīng)、納米級定位精度,并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適用于定位應(yīng)用,如干涉中光路徑長度修正,顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。
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1~3維P66系列壓電納米定位臺

P66.X2K-B1為P66系列新推出的一款一維真空壓電納米定位臺。該產(chǎn)品采用直驅(qū)結(jié)構(gòu),X向最大位移2.4μm,開環(huán)分辨率可達(dá)0.5nm,承載可達(dá)2kg,諧振頻率可達(dá)12kHz,它尺寸為70mm×85mm×20.5mm,體積非常小巧,定制航空連接器,可在真空環(huán)境下使用,芯明天可定制真空工作環(huán)境使用產(chǎn)品達(dá)2E-11mbar。P66.X2K-B1產(chǎn)品外觀如下圖所示。
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產(chǎn)品特點(diǎn)



一維X向運(yùn)動
精度可達(dá)0.5nm
承載可達(dá)2kg
諧振頻率可達(dá)12kHz
毫秒級響應(yīng)時間
定制采用航空連接器
真空版本,可選配閉環(huán)版本

產(chǎn)品應(yīng)用



干涉
顯微/掃描
光學(xué)測量
微加工/精密控制
計量

技術(shù)參數(shù)



 

型號
P66.X2K-B1Z
運(yùn)動自由度
X
驅(qū)動控制
1路驅(qū)動
標(biāo)稱行程范圍(0~120V)
1.9μm
行程范圍(0~150V)
2.4μm
開環(huán)分辨率
0.5nm
空載諧振頻率
12kHz
帶載諧振頻率
10kHz@20g
階躍時間
2ms
靜電容量
0.58μF
工作溫度范圍
-20~80℃
承載能力
2kg
材質(zhì)
不銹鋼、鋁合金
重量
310g

 


配套控制器



E53.C1K非常適用于驅(qū)動P66.X2K-B1Z壓電納米定位臺。它是一款小體積單通道壓電控制器,24VDC/1.5A供電,采用模擬或數(shù)字控制,通信接口為USB/RS-422/RS-232,帶寬10kHz,尺寸為148mm×27.5mm×80mm,體積小巧,易集成。

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