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N56系列直線壓電馬達(dá),可選1至6維運(yùn)動(dòng),行程可達(dá)50mm!

更新時(shí)間: 2023-11-08
N56系列直線壓電馬達(dá)是采用壓電微驅(qū)動(dòng)技術(shù),即利用壓電微位移致動(dòng)器實(shí)現(xiàn)高精度定位和運(yùn)動(dòng)的技術(shù),將壓電陶瓷在一定電場(chǎng)作用下的微變形量,經(jīng)過(guò)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換,輸出宏動(dòng)直線毫米級(jí)行程。



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直線壓電馬達(dá)原理

N56系列壓電馬達(dá)具有小體積、高精度、大行程等優(yōu)勢(shì)。它的行程可達(dá)50mm,速度可達(dá)3mm/s,分辨率可達(dá)0.05μm,具有斷電自鎖功能??蛇x配光柵傳感器作為閉環(huán)控制傳感器,完成高精度定位。該系列還具有適用于在真空環(huán)境中使用的真空版本。同時(shí),芯明天還可提供定制服務(wù),以滿足各類行程、精度要求。



N56系列壓電馬達(dá)特點(diǎn)

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Characteristics





1.行程可選10mm、20mm、30mm、50mm


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2.斷電自鎖


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3.可選1至6維運(yùn)動(dòng)版本



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4.可選真空版本,可選10^-6或10^-9mbar版本



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產(chǎn)品應(yīng)用

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Applications


N56系列直線壓電馬達(dá)可廣泛應(yīng)用在小負(fù)載、大行程納米定位、科學(xué)研究、光纖對(duì)接、微細(xì)加工、原子力顯微鏡、半導(dǎo)體的精密定位和微納操作等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

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Technical Data



型號(hào)
N56系列
運(yùn)動(dòng)自由度
X
選配傳感器
光柵傳感器
標(biāo)稱行程范圍
10至50mm可選
速度
3mm/s
開(kāi)環(huán)分辨率
0.005μm
閉環(huán)分辨率
<1μm
最大出力
3N
閉環(huán)重復(fù)度
0.1μm
推力(主動(dòng))
3N
保持力(斷電自鎖)
4.5N
負(fù)載能力(水平方向)
0.5kg
負(fù)載能力(任意方向)
0.1kg
軸向剛度
1.5N/μm
側(cè)向剛度
9N/μm
工作溫度
0~50℃
電纜長(zhǎng)度
1.5m
材質(zhì)
鋁,不銹鋼



配套控制器

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Recommended Controllers


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