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芯明天壓電物鏡定位器應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓質(zhì)量檢測系統(tǒng)

更新時間: 2023-06-14

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和制造工藝的發(fā)展,對晶圓質(zhì)量檢測要求高效準(zhǔn)確,能夠精準(zhǔn)捕捉缺陷,特別是晶圓作為半導(dǎo)體芯片制造的基本元件,準(zhǔn)確度非常重要,所以晶圓質(zhì)量檢測高度依賴超精密儀器測量,可通過激光共聚焦顯微鏡來實現(xiàn)晶圓質(zhì)量檢測,幫助改善制造工藝,提高良品率。

激光共聚焦顯微鏡以激光作為光源,采用共軛聚焦裝置,激光束經(jīng)照明針孔,經(jīng)由分光鏡反射至物鏡,并通過壓電物鏡定位器帶載物鏡進(jìn)行精密定位調(diào)整聚焦于樣品上,對標(biāo)本焦平面上每一點進(jìn)行掃描。組織樣品中如果有可被激發(fā)的熒光物質(zhì),受到激發(fā)后發(fā)出的熒光經(jīng)原來入射光路直接反向回到分光鏡,通過探測針孔時先通過壓電物鏡定位器帶載物鏡聚焦,聚焦后的光被光電倍增管(PMT)探測收集,并將信號輸送到計算機(jī),處理后在計算機(jī)顯示器上顯示圖像 ,利用計算機(jī)進(jìn)行圖像處理,對樣品進(jìn)行無損傷觀察和分析樣品的三維空間結(jié)構(gòu)。壓電物鏡定位器在此應(yīng)用中起到兩次聚焦作用,通過帶載物鏡進(jìn)行Z向納米級定位精度調(diào)節(jié),使聚焦精度更高,成像更清晰。

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芯明天壓電物鏡定位器

芯明天壓電物鏡定位器采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計,物鏡補(bǔ)償量較小,具有超高聚焦穩(wěn)定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置,可帶動物鏡聚焦提高精度,分辨率可達(dá)納米級,可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、萊卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。

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