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P73.Z1000系列壓電物鏡定位器為您提供完精確聚焦!

更新時間: 2021-11-19

可見光的波長一般在390nm780nm范圍,而光學(xué)顯微技術(shù)利用的是物鏡對光的聚焦,以達(dá)到盡可能高的亮度范圍,從而獲取盡可能清晰的圖像。高分辨率顯微成像的景深一般為微米級或亞微米級,這在定位到景深范圍內(nèi)后,Z向調(diào)焦的過程將需要更高的定位精度,尤其對成像精度要求非常高的應(yīng)用,例如多光子熒光顯微鏡、光學(xué)相干斷層成像術(shù)、晶圓檢測等,都要求納米級定位精度!

 

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用過壓電產(chǎn)品的用戶,一般都了解壓電產(chǎn)品的位移,一般在幾微米到幾百微米不等。但為了實現(xiàn)更大范圍的Z向聚焦,芯明天設(shè)計了P73.Z1000系列壓電物鏡定位器,該物鏡定位器具有1mm=1000μm)的運(yùn)動范圍,不僅滿足了大范圍調(diào)焦應(yīng)用,而且提供了納米級的定位精度!

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P73.Z1000系列壓電物鏡定位器是采用PZT壓電陶瓷驅(qū)動,因此具有PZT壓電陶瓷的很多優(yōu)點,它的響應(yīng)速度快,在毫秒量級,并且具有納米級的分辨率,可提供納米級高精度的物鏡定位驅(qū)動,從而達(dá)到納米精度的聚焦。同時,采用內(nèi)置閉環(huán)反饋傳感器,又解決了PZT壓電陶瓷的遲滯與蠕變的問題。

P73.Z1000系列壓電物鏡定位器既吸收了壓電陶瓷的優(yōu)點,同時去除了壓電陶瓷的弊端,為高分辨率顯微成像、激光聚焦等應(yīng)用提供了便捷而有力的工具!此外,P73.Z1000系列壓電物鏡定位器的安裝非常便捷,采用螺紋安裝,螺紋適配標(biāo)準(zhǔn)物鏡,也可選擇定制安裝螺紋。

 

P73.Z1000S技術(shù)參數(shù)

運(yùn)動軸:Z

標(biāo)稱行程范圍800μm@120V

行程范圍1000μm@150V

傳感器類型SGS

/開環(huán)分辨率36/10nm

閉環(huán)線性度0.5%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.3%F.S.

/拉力20/5N

運(yùn)動方向剛度0.02N/μm

空載諧振頻率110Hz

/開環(huán)空載階躍時間50/25ms

承載能力0.2 kg

靜電容量43.2μF

材質(zhì)鋼、鋁

重量786g

 

 


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