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X軸大行程壓電納米定位臺(tái)

更新時(shí)間: 2021-08-23

P60.X250高精度的一維X向壓電納米定位臺(tái),平臺(tái)采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu),內(nèi)置高性能壓電疊堆陶瓷,具有非常高的線性度,運(yùn)動(dòng)行程可達(dá)330μm,已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。

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P60.X250可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本,閉環(huán)版本內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器(SGS),以消除熱漂移,使得該系列納米定位臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)非常高的線性度與重復(fù)度。同時(shí),其抗震動(dòng)的設(shè)計(jì),非常適用于相關(guān)實(shí)驗(yàn)及應(yīng)用環(huán)境。

特點(diǎn)

X向運(yùn)動(dòng)

行程可達(dá)330μm

• 抗振動(dòng)設(shè)計(jì)

• 兩通道控制(含1路恒壓)

• 差分驅(qū)動(dòng)

• 快速響應(yīng)

應(yīng)用

計(jì)量/干涉

• 納米定位

• 質(zhì)量保證測(cè)試

• 精密控制

電壓位移曲線

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階躍時(shí)間曲線

P60.X250S帶載200g,小幅值階躍時(shí)間可達(dá)20ms。

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技術(shù)參數(shù)

運(yùn)動(dòng)自由度X

行程范圍(0~120V)±130μm

行程范圍(0~150V)±165μm

傳感器SGS

/開環(huán)分辨率12/5nm

閉環(huán)線性度0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.04%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)10μrad

/拉力300/30N

運(yùn)動(dòng)方向剛度1.2 N/μm

空載諧振頻率490Hz

/開環(huán)空載階躍時(shí)間80/40ms

承載能力0.6kg

靜電容量24.6μF

工作溫度-40~+80℃

抗振設(shè)計(jì)半正弦15g,11ms

后峰鋸齒波20g,11ms

材質(zhì)鋼、鋁

重量950g

推薦控制器

P60.X250為一維X向差分驅(qū)動(dòng)定位臺(tái),需配套兩通道(含一路恒壓)控制器,可配置芯明天四通道E70系列壓電控制器,同時(shí)驅(qū)動(dòng)兩臺(tái)P60.X250,實(shí)現(xiàn)精密運(yùn)動(dòng)控制。

 

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