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P12B.XYZ100壓電掃描臺為3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心通孔，內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化結(jié)構(gòu)，具有高導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無磨損等特點。

平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實現(xiàn)0.05%F.S.重復(fù)定位精度。P12B.XYZ100壓電掃描臺掃描范圍可達(dá)100μm/軸，閉環(huán)掃描精度高，直線運動無偏航。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于表面測量、顯微成像等應(yīng)用領(lǐng)域，同時適用于真空應(yīng)用，滿足客戶真空應(yīng)用需求。

特點

· 三維XYZ向運動                     

· 行程100μm/軸                     

· 中心通孔Ø10mm                     

· 適用于真空應(yīng)用                     

應(yīng)用領(lǐng)域

· 掃描顯微/表面測量                    

· 共焦顯微/半導(dǎo)體測試                  

· 晶圓定位/圖像處理與穩(wěn)定

· 光纖定位/光學(xué)掃描

電壓位移曲線

技術(shù)參數(shù)

型號：P12B.XYZ100

運動自由度：XYZ

行程范圍（0~150V）：100μm/軸

傳感器類型：SGS

中心通孔：Ø10mm

外徑：Ø49mm

靜電容量：3.6μF/軸

承載能力：0.2kg

工作溫度范圍：-20~80℃

材質(zhì)：鋼、鋁

外形尺寸（高）：38.5mm

出線長：1.5m

傳感/電壓連接器：LEMO