P77.D6小體積壓電移相器
P77.D6壓電式移相器是專為光學檢測移相應用而設計的，中心通孔直徑為65mm，正立、側臥、倒置使用的承載能力分別可達5kg、2kg、3kg。采用壓電陶瓷直驅式結構，保證了出力性能，同時內部優(yōu)化的機械結構設計，對壓電陶瓷也起到了的保護作用，確保了使用壽命。
產品特點
• 一維Z向運動
• 行程可達17μm
• 承載可達5kg
• 通孔直徑：65mm
• 可正立/倒置/側臥使用
典型應用
• 顯微成像
• 表面檢測
• 干涉/測量
• 精密定位
• 移相器
• 光學捕獲
高精度、大承載
P77.D6系列壓電移相器采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導向機構設計，利用有限元分析優(yōu)化，使其具有超高分辨率。同時閉環(huán)版本內置高精度傳感器，對位移實時監(jiān)測反饋，實現(xiàn)納米級的重復定位精度及線性度。
中心通孔直徑65mm，非常適于大口徑移相干涉應用。
電壓與位移曲線
技術參數(shù)
應用案例
芯明天P77系列壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特點廣泛應用于現(xiàn)代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測量精度。
