壓電快反鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，確保偏轉鏡具有的運動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內置高精度傳感器進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
壓電快反鏡采用經(jīng)過特殊設計的精密音圈電機作為驅動，輸出力大、響應快、控制精度高；采用反射鏡及支撐結構一體化設計技術，降低了質量/慣量、減小了體積，具有優(yōu)異的動態(tài)特性；采用了轉軸構型優(yōu)化技術，使快反鏡具有良好的控制精度和閉環(huán)帶寬。
高速精密壓電偏轉鏡是為了滿足在光學成像和檢測系統(tǒng)中鏡子超快超精密定位的需求設計的。高速精密壓電偏轉鏡采用壓電陶瓷為驅動，利用無摩擦的柔性鉸鏈導向系統(tǒng)，使偏轉鏡擁有體積小、無摩擦，定位精度高等優(yōu)點。
壓電快反鏡產(chǎn)品主要特點
亞微弧度的分辨率
超快響應時間
柔性鉸鏈導向系統(tǒng)
高的可靠性
高的帶寬
該偏轉鏡子只需要簡單的固定到偏轉臺上，可提供2毫弧度的偏轉行程。在整個偏轉行程中可達到亞微弧度的分辨率。低的移動質量和優(yōu)異的控制系統(tǒng)可以提供的響應時間和和速度。
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