P78系列壓電顯微樣品臺
P78 壓電掃描臺是專為生物醫(yī)療應用而設計的用于樣品顯微掃描的一維 Z 軸壓電掃描臺，它的外形結構易集成于顯微儀器設備中。
<<特點
· 一維 Z 向運動
· Z 向分辨率可達4nm
· 通孔尺寸為120×70mm
· 行程范圍110μm
<<應用
顯微成像、生物技術、超分辨率顯微鏡、光學圓盤顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D 成像、篩選、干涉測量、測量技術、自動聚焦系統、半導體測試等。
P78 壓電掃描臺對于納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用是非常理想的?？蛇x配橋式配置的閉環(huán)傳感器，可消除溫度漂移，保證了納米范圍的定位穩(wěn)定性。同時，通過FEA 優(yōu)化了直線度與平面度，為運動方向及垂直運動方向上提供了較高的剛度。并聯運動學設計，使其結構更緊湊、響應速度更快。
<<大通孔、大位移、高分辨、高精度
P78 系列壓電掃描臺，采用機構放大設計原理，可以實現Z軸110μm的位移行程。優(yōu)異的柔性鉸鏈導向機構采用有限元分析進行優(yōu)化實現納米級的分辨率、毫秒級的響應時間。
P78 系列壓電掃描臺可選擇配置閉環(huán)傳感器，對位移實現實時監(jiān)測并反饋給閉環(huán)壓電控制器，實現納米級精密控制。掃描臺臺體中心通孔尺寸為120×70mmmm，適用于干涉、掃描、表面檢測等應用。
<<開/閉環(huán)曲線
<<階躍時間
<<技術參數
