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壓電掃描臺(tái)|P78|新品發(fā)布|芯明天

更新時(shí)間: 2018-09-25

壓電掃描臺(tái)P78.Z100-D1是專為生物醫(yī)療應(yīng)用而設(shè)計(jì)的用于樣品顯微掃描的壓電掃描臺(tái),它的外形結(jié)構(gòu)易于集成于顯微儀器設(shè)備中。壓電掃描臺(tái)P78.Z100-D1的Z向運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)110µm。

 

 

 

特點(diǎn):

行程范圍可達(dá)110µm

Z向分辨率可達(dá)4nm   

承載能力可達(dá)1kg

通孔尺寸為120×70mm

高度僅25mm

應(yīng)用于Z向顯微掃描

 

應(yīng)用:

醫(yī)療顯微成像、生物技術(shù)、超分辨率顯微鏡、光學(xué)圓盤顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像、篩選、干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)、自動(dòng)聚焦系統(tǒng)、半導(dǎo)體測(cè)試等。

 

壓電掃描臺(tái)P78.Z100-D1對(duì)于納米范圍的對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、測(cè)量等應(yīng)用是非常理想的。它的高度僅25mm,中心具有120×70mm的通孔,可提供亞納米級(jí)分辨率的高精度運(yùn)動(dòng)。

壓電掃描臺(tái)P78.Z100-D1可選配橋式配置的閉環(huán)傳感器,可消除溫度漂移,保證了納米范圍的定位穩(wěn)定性。

壓電掃描臺(tái)P78.Z100-D1的結(jié)構(gòu)經(jīng)過(guò)FEA建模仿真分析設(shè)計(jì),無(wú)間隙、無(wú)摩擦,具有*的運(yùn)動(dòng)精度。同時(shí),通過(guò)FEA優(yōu)化了直線度與平面度,為運(yùn)動(dòng)方向及垂直運(yùn)動(dòng)方向上提供了較高的剛度。因其并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)的設(shè)計(jì),將掃描臺(tái)的質(zhì)量盡可能縮小,使結(jié)構(gòu)更緊湊、響應(yīng)速度更快。

壓電掃描臺(tái)P78.Z100-D1匹配芯明天E53.D壓電控制器使用,使整個(gè)壓電顯微聚焦系統(tǒng)的體積非常小巧。可選擇閉環(huán)控制及上位機(jī)通信功能。

壓電掃描臺(tái)P78.Z100-D1技術(shù)參數(shù)

型號(hào):P78.Z100-D1

運(yùn)動(dòng)自由度:Z

行程范圍(-20~+150 V):110µm

傳感器類型:SGS

通孔尺寸:120×70mm

閉/開(kāi)環(huán)分辨率:7/4nm

閉環(huán)線性度:0.2%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.1%F.S.

運(yùn)動(dòng)方向推/拉力:120/15N

運(yùn)動(dòng)方向剛度:1.5N/um

空載諧振頻率:200Hz

空載工作頻率(10%行程):50Hz

承載能力:1Kg, max

靜電容量:5.4μF/軸

工作溫度范圍:-20~80℃

外形尺寸:154×136×25mm

 

壓電控制器E53.D技術(shù)參數(shù)

型號(hào):E53.D

供電輸入電壓:24V(20V~30V)/1A

靜態(tài)功耗:<5W

處理器:32bit 168MHz

D/A轉(zhuǎn)換器:16bit

A/D轉(zhuǎn)換器:16bit

通信接口:USB,RS-422,RS-232

傳感器類型:SGS

伺服特性:模擬P-I+帶阻+低通

通道數(shù):1 通道

標(biāo)稱模擬輸入范圍:0~10V

標(biāo)稱輸出電壓范圍:0~120V(可選0~150V)

電流:1A

平均電流:60mA

放大器帶寬:10kHz

紋波:10mVpp(加載2.2uF)

額定輸出功率:9W

工作溫度范圍:0至50℃

輸出短路電流:60mA

過(guò)流指示:平均電流超過(guò)60mA則過(guò)流指示燈亮

控制輸入連接器:SMB連接器

傳感輸出連接器:SMA連接器

PZT連接器:LEMO單芯

SENSOR連接器:LEMO四芯

通信連接器:DB9、MicroUSB

尺寸:130×80×27.5mm

重量:0.35kg

 

壓電掃描臺(tái)P78.Z100-D1與壓電控制器E53.D配套使用,非常適于空間受限的超分辨顯微掃描、成像應(yīng)用中。

 

應(yīng)用案例之顯微聚焦

利用芯明天壓電掃描臺(tái)P78.Z100-D1,可進(jìn)行樣品的顯微聚焦,提高成像的聚焦精度,可使成像更清晰,增加圖像的分辨率。P78.Z100-D1壓電掃描臺(tái)的聚焦速度可達(dá)亞毫秒量級(jí),使得自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的聚焦速度更快。匹配E53.D系列壓電控制器,體積小巧,更易于集成。

 

 

 

 

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