壓電納米定位與中國加工制造
在現代工業(yè)領域,壓電納米定位產品覆蓋著很大的應用方面。隨著科技發(fā)展,人們對器件的要求越來越高,器件的體積也要求越來越小,甚至可達微納米級。而壓電納米定位產品具有亞納米級的分辨率及定位精度,且因壓電納米定位產品是由容性壓電疊堆陶瓷驅動,所以它的運動定位時間即為壓電疊堆陶瓷充放電的時間,響應時間可快至亞毫秒級。高精度及高響應速度的特點是壓電納米定位產品廣泛應用于工業(yè)化的重要因素。
壓電納米定位產品到底是什么產品?
壓電納米定位產品其實就是基于壓電式驅動、步進精度在納米量級,且可產生納米級至毫米級的運動范圍的運動產品,可以將它理解是一種統稱。它包括壓電疊堆陶瓷、壓電促動器、壓電納米定位臺、壓電物鏡定位器、快速刀具微進給定位臺、壓電平移臺、壓電掃描臺、壓電偏轉鏡、壓電偏擺臺等。
壓電納米定位產品都用于哪些工業(yè)應用呢?
可從壓電納米定位產品的特性來了解其應用,例如,我們已經了解到壓電納米定位產品的兩大特點:高精度及高頻響,憑借于此,壓電納米定位產品就可應用于超精密激光加工,例如晶圓切割,利用激光切割晶圓。
隨著手機等電子產品的體積日益變薄、變小,手機內部的芯片就越來越小,那么晶圓上單個單元die就相應變小,每個單元上都有很多電路,使用激光將晶圓切成單元die,這就要求非常高的激光焦點的定位加工精度,需達納米量級;并且,要想快速完成成千上萬的晶圓單元的切割,必須加工速度要快。面對這兩項難題,很多產品都束手無策,但壓電納米定位產品卻可解決這些問題。
利用芯明天的壓電納米定位產品之壓電物鏡定位器,例如P76,將其安裝于較重的工業(yè)物鏡頭上方,在壓電控制器輸出的電壓信號的驅動下,它可帶載工業(yè)物鏡頭運動,進行Z向100µm范圍的上下微動,調整距離可至幾納米。當加工用的激光經過工業(yè)鏡頭聚焦后,再通過壓電物鏡定位器調節(jié)激光焦點的位置,激光焦點位置即是加工點的位置,壓電物鏡定位器可保證加工精度達幾納米。
晶圓切割利用的是壓電納米定位產品的直線超高精度位置調節(jié),也可以通過壓電納米定位產品進行角度調節(jié)進行微小孔加工,例如流量控制板小孔加工、高壓渦輪葉片小孔加工、噴油嘴小孔徑倒錐孔加工等,其中激光的方向及加工點的調節(jié)都是通過壓電偏轉鏡實現。
芯明天壓電納米定位產品的工業(yè)化,是芯明天強硬的壓電納米定位技術的一種體現,更是中國壓電納米定位技術水平趕超世界的一種展現。 將壓電納米定位技術用于提高制造行業(yè)的加工精度,倡導“中國制造2025”,推進中國制造行業(yè)快速發(fā)展。