壓電偏轉(zhuǎn)鏡的特點說明
產(chǎn)品特點：
外形尺寸： 體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊、φ25mm*56mm
行程：6mrad 分辨率：0.05μrad
采用無摩擦、無回差緊湊的差分式并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)，具有超高的導(dǎo)向精度
內(nèi)置高性能壓電陶瓷、高可靠性
內(nèi)置位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇，可提供安裝及出線方式
壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動的傾斜鏡，壓電傾斜鏡內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)，采用有限元分析柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點，壓電偏轉(zhuǎn)鏡內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有的運動控制精度、分辨率和穩(wěn)定性，可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。緊湊型設(shè)計，可更好的集成光學系統(tǒng)中。
